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詳細介紹
日本豐興AD-SL231D-504B TOYOOKI
型號：AD-SL231D-504B
品牌：豐興（Toyoko Koki）
類型：高真空角閥（Angle Valve）
設計用途：用于半導體、真空鍍膜、分析儀器等需要高密封性和快速響應的真空系統(tǒng)。
高密封性：
泄漏率低至 <1×10?? Pa·m3/s（氦氣檢漏），確保超高真空（UHV）環(huán)境下的穩(wěn)定性。
金屬密封（可選氟橡膠密封，適用于不同溫度需求）。
快速開關：
氣動驅動，開關時間 <0.5秒（取決于配置），適合高頻次操作。
耐腐蝕性：
閥體和密封材料可耐受 腐蝕性氣體（如Cl?、HBr），適用于半導體刻蝕工藝。
緊湊設計：
輕量化結構，節(jié)省安裝空間，適合緊湊型設備布局。
| 參數 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 通徑（DN） | 50 mm（或根據型號定義） |
| 連接方式 | CF法蘭（ISO-K）、KF法蘭或定制 |
| 壓力范圍 | 大氣壓 ~ 1×10?? Pa |
| 驅動方式 | 氣動（標準） / 可選電動或手動 |
| 閥體材質 | 不銹鋼（SUS304/SUS316L） |
| 密封材質 | 金屬（銅/鋁）或氟橡膠（FKM） |
| 溫度范圍 | -20°C ~ +150°C（氟橡膠密封） |
| 適用氣體 | 惰性氣體、腐蝕性氣體、高純度氣體 |
半導體設備：用于刻蝕、CVD、PVD設備的腔室隔離與氣體控制。
真空鍍膜：磁控濺射、蒸鍍機的真空路徑切換。
科研儀器：電子顯微鏡、粒子加速器的真空系統(tǒng)。
兼容性：需確認法蘭接口（如CF、KF）與現有系統(tǒng)匹配。
驅動方式：氣動需配置潔凈壓縮空氣源，電動需對接PLC控制。
特殊需求：腐蝕性氣體應用需選擇SUS316L材質和金屬密封。
日本豐興AD-SL231D-504B TOYOOKI
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